隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷突破，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在我國(guó)經(jīng)濟(jì)中的地位日益凸顯。在這個(gè)日新月異的行業(yè)中，如何提高生產(chǎn)效率、降低成本，成為各大企業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。當(dāng)晶圓制程愈發(fā)復(fù)雜、生產(chǎn)車間數(shù)量增多時(shí)，車間轉(zhuǎn)換的儲(chǔ)存區(qū)域顯得尤為必要。天車（OHT）就是為了提高物料運(yùn)輸效率，降低人力成本和減少污染風(fēng)險(xiǎn)而存在，在很大程度上改善了跨區(qū)搬運(yùn)的不便。
01天車（OHT）簡(jiǎn)介
OHT (空中走行式搬送車) 是Overhead Hoist Transfer的簡(jiǎn)稱，一種能在空中軌道上行駛之自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，由升降裝置馬達(dá)驅(qū)動(dòng)皮帶，自動(dòng)抓取設(shè)置在晶圓加載機(jī) (LPU, Load-Port Unit) 的前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod)，實(shí)現(xiàn)了晶圓在各加工區(qū)間快速穩(wěn)定的搬運(yùn)，且不占用潔凈室地面空間，被廣泛的使用在12寸半導(dǎo)體前端晶圓廠內(nèi)的物料搬送，如制造過(guò)程中的在制品 (WIP, Work In Process)，不僅用于產(chǎn)線的機(jī)臺(tái) (Tool)，還用于機(jī)臺(tái)和晶圓緩存器 (Buffer) 之間的傳輸作業(yè)。
組成部分：
天車搬運(yùn)系統(tǒng)主要由以下幾個(gè)部分組成：
a. 導(dǎo)軌：安裝在廠房天花板上的軌道，用于吊車的移動(dòng)。
b. 吊車：沿著導(dǎo)軌移動(dòng)的起重設(shè)備，用于抓取和放置物料。
c. 載具：用于承載和保護(hù)物料（如晶圓盒）的專用容器。
d. 控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)控制吊車運(yùn)動(dòng)、抓取和放置物料的自動(dòng)化系統(tǒng)。
02天車搬運(yùn)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)
OHT （天車）沿直線軌道的平均速度可達(dá) 5m/s（18km/h），沿曲線軌道的平均速度可達(dá) 1m/s（3.6km/h）。
與其他自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)（如自動(dòng)導(dǎo)引車和輸送帶）相比，OHT具有以下優(yōu)勢(shì)：
a. 提高生產(chǎn)效率：OHT可以在短時(shí)間內(nèi)將物料從一個(gè)地點(diǎn)移動(dòng)到另一個(gè)地點(diǎn)，減少了物料運(yùn)輸所需的時(shí)間，從而提高了生產(chǎn)效率。
b. 減少人工干預(yù)：OHT的自動(dòng)化運(yùn)作減少了人員與物料的接觸，降低了污染風(fēng)險(xiǎn)。
c. 節(jié)省空間：OHT安裝在天花板上，不占用地面空間，提高了空間利用率。
d. 降低成本：OHT的自動(dòng)化運(yùn)作降低了人力成本和維護(hù)成本。
e. 提高可靠性：OHT具有較高的運(yùn)行穩(wěn)定性和可靠性，確保了生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性。
03天車在我國(guó)的發(fā)展前景
新興的國(guó)產(chǎn)AMHS廠商進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域需要經(jīng)歷較長(zhǎng)的驗(yàn)證過(guò)程，隨著我國(guó)產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展，全國(guó)很多地區(qū)都在新建晶圓廠以滿足國(guó)內(nèi)不斷增長(zhǎng)的半導(dǎo)體需求。這些新建的晶圓廠中自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備（AMHS）已是標(biāo)配，再加上之前興建的8-12寸存量生產(chǎn)線自動(dòng)化改造需求，未來(lái)4年內(nèi)，國(guó)內(nèi)晶圓廠AMHS系統(tǒng)平均每年的市場(chǎng)需求約為30-40億元。
目前，國(guó)產(chǎn)AMHS天車方案已在晶圓廠的測(cè)試線或局部線運(yùn)行。相信隨著時(shí)間的推移，國(guó)內(nèi)廠商不斷積累經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)創(chuàng)新，以及在本地化設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)、交期短、成本低等優(yōu)勢(shì)的助力下，國(guó)內(nèi)AMHS產(chǎn)業(yè)必將取得長(zhǎng)足的發(fā)展。
艾斯達(dá)克
艾斯達(dá)克作為一家專業(yè)從事智慧車間整體解決方案的高科技企業(yè)。憑借多年的技術(shù)積累和行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，為半導(dǎo)體硅片廠、芯片制造廠、芯片封裝廠等提供高效、準(zhǔn)確的物料搬送解決方案。
OHT作為艾斯達(dá)克的核心產(chǎn)品，幫助企業(yè)提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，提升產(chǎn)品良率。未來(lái)，艾斯達(dá)克將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新，為行業(yè)的智能化發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。
圖片來(lái)自：半導(dǎo)體綜研
