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Cooperative robot

Cooperative robot是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的智能機器人系統(tǒng)，主要用于晶圓盒的存取和搬運任務(wù)。這些機器人設(shè)備配備齊全的傳感器和視覺系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確感知晶圓盒位置，實現(xiàn)準(zhǔn)確搬運，并通過與倉庫管理系統(tǒng)的無縫對接，實現(xiàn)晶圓盒存取任務(wù)的自動化和信息化管理。Cooperative robot能夠提高生產(chǎn)效率、降低成本、提高安全性，并推動晶圓倉庫管理的智能化和自動化發(fā)展。其靈活適應(yīng)性和智能化管理特點使其成為半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要設(shè)備，為工廠的生產(chǎn)效率和質(zhì)量提供有力支持。
技術(shù)參數(shù)

項目

參數(shù)

外型尺寸

長1200mm*寬500mm*高800mm

導(dǎo)引方式

激光引導(dǎo)

設(shè)備重量

450kg (up to 600kg)

行走方式

?型萬向輪, 可進出貨梯

驅(qū)動方式

視覺系統(tǒng)?動對位載貨頂升

爬坡角度

上下斜坡(8度)

導(dǎo)航精度

±10mm

通訊方式

?援E84/WIFI 通訊

充電方式

充電樁自動充電

安全感應(yīng)范圍

0-3M可調(diào)/緊急制動距離小于20mm

安全防護

內(nèi)建智能視覺系統(tǒng)，聲光報警搭配礙物檢測傳感器與機械防撞機構(gòu)雙重防護

產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 提高生產(chǎn)效率

    半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人能夠自動執(zhí)行晶圓存取任務(wù)，減少人工操作時間，提高生產(chǎn)效率。

  • 精準(zhǔn)搬運

    配備傳感器和視覺系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人能夠準(zhǔn)確感知晶圓位置，實現(xiàn)準(zhǔn)確搬運，減少損壞風(fēng)險。

  • 智能化管理

    半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人可以與倉庫管理系統(tǒng)無縫對接，實現(xiàn)晶圓存取任務(wù)的自動化和信息化管理。

  • 靈活適應(yīng)

    采用控制算法和路徑規(guī)劃技術(shù)，半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人能夠靈活適應(yīng)不同的生產(chǎn)環(huán)境和任務(wù)需求。

  • 降低成本

    通過自動化晶圓存取任務(wù)，半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人可以降低人力成本，提高生產(chǎn)效率，從而降低生產(chǎn)成本。

  • 安全穩(wěn)定

    半導(dǎo)體晶圓倉協(xié)作機器人配備多重安全保護系統(tǒng)，能夠確保在搬運過程中晶圓和設(shè)備的安全，提高生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性。

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