項目 |
參數(shù) |
倉儲型號 |
i-Stock Semi Magazine stocker |
外型尺寸 |
L5300*W2200*H3100mm (可定制) |
物料種類 |
Die、Lead frame等其他材料 |
物料尺寸 |
L300*W195*H160mm (可定制) |
存儲容量 |
196盒 |
手臂負載 |
12-25kg (可定制) |
定位精度 |
0.1-0.3mm |
存/取節(jié)拍 |
20-30s/box |
凈化等級 |
class10;100;1000 |
震動 |
≤0.5G |
噪音 |
≤75DB |
UPS |
斷電后半小時供工控機上傳資訊,操作系統(tǒng)正常關閉 |
通訊方式 |
SECS/GEM (E82/E88) |
靜電防護 |
防靜電處理材質儲位,表面阻值106-1011Ω |
溫度濕度管控范圍 |
控制范圍: 溫度20-25°C,相對濕度10~45%RH |
EFEM |
可對接AMR/OHT |
一物一碼一儲位”實現(xiàn)無人化、
準確化、智能化管理
雙機械手協(xié)同作業(yè),更高效率出入庫揀選,
物料自動批量存取
提升物料揀選準確率和準確度,
降低勞動強度與晶圓人為損耗
搭載FFU,符合半導體車間潔凈等級要求
多種出入庫對接模式,從容應對各場景不
同物料的輸送需求
定制智能看板,數(shù)據智能可視