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i-Stock Semi Wafer stocker

i-Stock Semi Wafer stocker，突破技術(shù)壁壘，打造行業(yè)晶圓存儲(chǔ)設(shè)備，以單片晶圓為單位進(jìn)行準(zhǔn)確管控，內(nèi)部搭載潔凈機(jī)械手臂，達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)無塵等級(jí)要求。庫內(nèi)高速傳遞晶圓片，準(zhǔn)確取片，庫外可拓展對(duì)接AMR上下料，便捷高效，打造智能化、可視化的半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

參數(shù)

倉儲(chǔ)型號(hào)

i-Stock Semi Wafer stocker

外型尺寸

L4465*W2200*H2500 (可定制)

物料種類

wafer

wafer規(guī)格

4/6/8/12寸

存儲(chǔ)容量

1800片(6寸wafer)

手臂載重

1kg

定位精度

±0.1mm

存/取時(shí)間

6-12s/pcs

凈化等級(jí)

class10；100；1000

震動(dòng)

≤0.5G

噪音

≤75DB

UPS

斷電后半小時(shí)供工控機(jī)上傳資訊，操作系統(tǒng)正常關(guān)閉

通訊方式

SECS/GEM (E82/E88)

靜電防護(hù)

防靜電處理材質(zhì)儲(chǔ)位，表面阻值106-1011Ω
設(shè)備外部結(jié)構(gòu)接地，設(shè)備電源接地 < 1Ω

溫度濕度
管控范圍

控制范圍: 溫度20-25°C，相對(duì)濕度10~45%RH
支持加充氮?dú)?/span>

EFEM

可對(duì)接AMR/OHT


產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 高智能

    一物一碼一儲(chǔ)位”實(shí)現(xiàn)無人化、準(zhǔn)確化、
    智能化管理

  • 高效率

    雙機(jī)械手協(xié)同作業(yè)，更高效率出入庫揀選，
    物料自動(dòng)批量存取

  • 高精度

    提升物料揀選準(zhǔn)確率和準(zhǔn)確度，
    降低勞動(dòng)強(qiáng)度與晶圓人為損耗

  • 潔凈度

    搭載FFU，符合半導(dǎo)體車間潔凈等級(jí)要求

  • 多模式

    多種出入庫對(duì)接模式，
    從容應(yīng)對(duì)各場(chǎng)景不同物料的輸送需求

  • 可視化

    定制智能看板，數(shù)據(jù)智能可視

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