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AMHS

AMHS（Automated Material Handling System）是一種自動化物料處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。AMHS 設(shè)備主要用于在生產(chǎn)線上自動搬運、傳送半導(dǎo)體制造過程中所需的各類物料和工件。這些設(shè)備通常由輸送機、機械臂、搬運機器人等組成，配備智能控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高效、準(zhǔn)確的物料傳輸，并且能夠與其他設(shè)備實現(xiàn)無縫連接，實現(xiàn)整個生產(chǎn)流程的自動化管理。AMHS 設(shè)備的使用可以大大提高生產(chǎn)效率，降低人為錯誤的發(fā)生率，同時也提升了生產(chǎn)線的靈活性和穩(wěn)定性，是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中不可或缺的重要設(shè)備之一。
技術(shù)參數(shù)

項目

參數(shù)

設(shè)備型號

AMHS/OHT

外型尺寸

L600*W450*H850mm（不含機械手臂）

物料種類

Foup/Cassette/Mask等半導(dǎo)體物料

充電方式

軌道滑觸線以及鋰電池定點充電

機械手精度

0.5~1mm

驅(qū)動方式

雙向驅(qū)動，無限監(jiān)控

行走速度

0.6~3.5m/s

通訊方式

SECS/GEM （E84）

視覺系統(tǒng)

RFI獲取軌道位置


系統(tǒng)控制

控制硬件系統(tǒng)

感測系統(tǒng)

遠(yuǎn)端控制及車流控制統(tǒng)




產(chǎn)品優(yōu)勢

  • 提高生產(chǎn)效率

    AMHS設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)自動化的物料搬運和傳送，減少了人工操作時間，提高了生產(chǎn)效率，縮短了生產(chǎn)周期。

  • 降低人為錯誤

    自動化的AMHS系統(tǒng)可以減少人為錯誤的發(fā)生率，提高了生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和一致性。

  • 靈活性

    AMHS設(shè)備可以根據(jù)生產(chǎn)需求進(jìn)行靈活調(diào)整和優(yōu)化，適應(yīng)不同工藝流程和生產(chǎn)規(guī)模的變化。

  • 提升安全性

    減少了人員接觸危險物料的機會，降低了工作風(fēng)險，提升了生產(chǎn)線的安全性。

  • 實時監(jiān)控與管理

    AMHS設(shè)備配備智能控制系統(tǒng)，可以實時監(jiān)控物料流動情況，提供數(shù)據(jù)支持，幫助管理者進(jìn)行生產(chǎn)計劃和決策。

  • 節(jié)約空間

    AMHS設(shè)備可以實現(xiàn)物料的垂直傳送和空間的充分利用，節(jié)約了生產(chǎn)場地，提高了生產(chǎn)線的整體效率。

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